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회사소개

국내특허

NO.	특허번호	발명의 명칭	등록일	인증처	인증서보기
1	10-0858439	실링 플랜지를 구비한 텅스텐 할로겐 램프	2008.09.08	특허청	원본보기
2	10-0902633	가열유닛 및 이를 구비하는 기판 처리 장치	2009.06.05	특허청	원본보기
3	10-0906711	급속열처리 장치	2009.07.01	특허청	원본보기
4	10-0910206	기판 처리 장치 및 기판 처리방법	2009.07.24	특허청	원본보기
5	10-0940544	기판 지지 유닛	2010.01.28	특허청	원본보기
6	10-0954859	온도측정장치	2010.04.19	특허청	원본보기
7	10-0963820	진공 챔버 및 이의 제조 방법	2010.06.08	특허청	원본보기
8	10-0965143	서셉터 유닛 및 이를 구비하는 기판 처리 장치	2010.06.14	특허청	원본보기
9	10-0990237	기판처리장치 및 이를 이용한 기판처리방법	2010.10.20	특허청	원본보기
10	10-0990746	기판처리장치	2010.10.22	특허청	원본보기
11	10-0990747	기판처리장치	2010.10.22	특허청	원본보기
12	10-0990745	기판처리장치 및 이를 이용한 기판처리방법	2010.10.22	특허청	원본보기
13	10-0993864	기판처리장치	2010.11.05	특허청	원본보기
14	10-1002748	서셉터 유닛 및 이를 구비하는 기판 열처리 장치	2010.12.14	특허청	원본보기
15	10-1155026	기판처리장치 및 이를 이용한 기판처리방법	2012.06.04	특허청	원본보기
16	10-1182638	기판처리장치	2012.09.07	특허청	원본보기
17	10-1190603	기판처리장치	2012.10.08	특허청	원본보기
18	10-1193569	히터 및 이를 포함하는 기판 처리장치	2012.10.16	특허청	원본보기
19	10-1193570	기판처리장치	2012.10.16	특허청	원본보기
20	10-1217638	기판지지장치 및 이를 포함하는 기판처리장치	2012.12.26	특허청	원본보기
21	10-1224059	기판처리장치 및 그 처리방법	2013.01.14	특허청	원본보기
22	10-1232770	기판처리장치	2013.02.06	특허청	원본보기
23	10-1254253	기판처리장치 및 이를 이용한 기판처리방법	2013.04.08	특허청	원본보기
24	10-1355644	기판처리장치	2014.01.20	특허청	원본보기
25	10-1362810	열처리장치	2014.02.07	특허청	원본보기
26	10-1431606	기판처리장치	2014.08.12	특허청	원본보기
27	10-1431607	기판처리장치 및 이를 이용한 기판처리방법	2014.08.12	특허청	원본보기
28	10-1472484	기판처리장치	2014.12.08	특허청	원본보기
29	10-1500546	기판지지장치 및 이를 포함하는 기판처리장치	2015.03.03	특허청	원본보기

NO.	특허번호	발명의 명칭	등록일	인증처	인증서보기
1	F690501/SP-IMS000886	Rapid Thermal Process System_RHP620	2011.10.11	SGS Korea Co., Ltd	원본보기
2	K5356/M12	Lamp Module_RHP300	2012.11.13	TUV NORD Korea	원본보기
3	K5356/M12	RTP System_RHP640AV	2013.08.12	TUV NORD Korea	원본보기

NO.	인증번호	인증의 명칭	등록일	인증처	인증서보기
1	20160104470	벤처기업확인서	2016.04.03	기술보증기금	원본보기
2	R100601-00620	기술혁신형 중소기업(INNO-BIZ)확인서	2016.04.21	중소기업청	원본보기
3	2010111631	기업부설연구소인정서	2010.06.04	한국산업기술진흥협회	원본보기
4	2011-148	2011년 경기유망중소기업선정	2011.09.01	경기도지사	원본보기
5	2015.01.01 ~2015.12.31	강소기업확인서	2015.01.01	고용노동부	원본보기

NO.	특허번호	발명의 명칭	등록일	인증처	인증서보기
1	ZL 2010 1 0528673.6	SUSCEPTOR UNIT AND APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE USING THE SAME	2013.11.13	중국특허청	원본보기
2	I 442510	SUSCEPTOR UNIT AND APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE USING THE SAME	2014.06.21	대만특허청	원본보기