RHP300PA는 Wet Etching 공정 장비의 Lamp 모듈로써 고온인산 또는 황산을 이용한 식각 공정을 위해
특별히 고안된 급속 열처리 장치입니다.
RHP300PA는 약 160℃ 이상의 질화물 에칭 과정에서 온도 균일도 및 더 높은 온도 승온 및 유지를 시키기 위해 Wet Etching 장비에
설치한 열처리용 램프 모듈입니다.
Application
ㆍLamp heater module for SPM
ㆍLamp heater module for H3PO4
ㆍWet Etching Process
- 4chambers configuration
- 8chambers configuration.
Specification
ㆍTemperature Control Range : 0℃ ~ 300℃
ㆍTemperature sensor accuracy : < ±0.5℃
ㆍTemp. control accuracy : < ±1.5℃
ㆍRamp up rate : 30℃/sec (Dry condition)
ㆍTemperature uniformity : < ±6.0℃
ㆍPressure environment : ATM Process
ㆍProcess Material : 300mm Silicon Wafer
Tungsten Halogen Lamp의 빛(광선)은 100nm에서 100,000nm의 전자파의 범위 안에 있는 것으로 알려져 있습니다.
가시 광선의 경우는 380nm에서 750nm 의 범위에 있습니다.
적외선은 근 적외선, 중적외선, 원적외선으로 나누어 지는데, 근적외선의 파장은 2000nm이하이고 중적외선은 2000nm와 4000nm 사이,
원적외선은 4000nm이상입니다.
따라서 NPS는 재질의 특성에 따라 그에 맞는 파장대를 선택하여 최적의 할로겐 램프를 제작하여 고객사에 공급합니다.
Application
ㆍ진공 환경에서 사용하는 롤 투 롤 장비
ㆍ특수 적외선 파장대를 이용하는 공정에서 PE, PP, PET, Films의 표면 보호, 개질용
ㆍStable Color Temperature (안정적인 색온도)
할로겐 싸이클 (증발된 텅스텐 입자가 필라멘트로 다시 돌아가는 반응의 반복)로 인해 관벽의
흑화현상과 텅스텐 필라멘트가 얇아지는 현상을 최소화 하여 램프 강도와 색 온도를 램프 수명이
다하는 날까지 안정적으로 유지해 줍니다.
ㆍLong Life (긴 수명)
“Halogen Cycle” 이 긴 수명을 보증합니다. 일반 백열전구의 2배정도 긴 수명을 유지
ㆍThermal Shock Resistance (열 충격에 강함)
석영유리 재질의 할로겐 램프는, 일반 백열전구보다 훨씬 더 열 충격에 강합니다.
ㆍWarm up and Cool down( 가열 냉각 효율 )
할로겐램프가 켜지면 다른 히터들에 비해 가장 짧은 시간에 최대의 복사열(열에너지)을 구현 합니다.
최대 복사열을 내는 시간은 약 40에서 50초 정도 입니다.
램프가 꺼지면 마찬가지로 빠른 시간 안에 식음으로써 가열 및 냉각 효율이 좋습니다.
Temperature Controller 란?
디지털 신호처리는 보통 전압레벨 신호 형태의 데이터를 수학적 형태로 처리하는 기술입니다.
컴퓨터 프로세서, 기타 전자제품에서 이 디지털신호 처리기술을 응용합니다. 특히 디지털 신호 변환기에 자주 사용 되어지고 있습니다.
본 변환기는 아날로그 신호를 디지털신호로 형태로 입력신호를 변환 하는데, 수치로 변환 처리를 하는 것입니다.
NPS에서는 이러한 디지털신호처리기술을 온도제어기술에 접목하여 사용하고 있습니다.
Application
ㆍ정보 통신
ㆍ의학 과학 장비, 반도체 제조 장비 및 기타 전자 제품
ㆍRTP 용 온도 제어기
ㆍPID 제어기
System features
ㆍAI 16채널 (DC0~10V, 4~20mA), D I/O 12채널로 구성
ㆍEther Net, CAN, RS232/485 통신
ㆍCAN통신을 통한 A I/O 채널 수 확장
ㆍ온도계(Pyrometer, Thermocouple)로 부터 신호(DC0~10V, 4~20mA)를 입력 받아 PID가 적용된 값을 CAN통신 or DAC IO Board를 통해 전력 제어기로 보낸다.
